该晶圆加工厂厂座落在华南位置,主耍生孩子8厘米半导体设备晶圆,单日污废水 排出量约800吨。仍然生孩子进程中便用海量氢佛酸对其进行晶圆蚀刻,造成污废水 中氟化物酸度可高达200-300mg/L,远超我国排出基准(10mg/L下面)。
化工废水基本成分及因素
污废水 一般存在几个重要环节:
晶圆蚀刻繁琐流程
:含高含量氟化物(HF)、硝酸银及一定量高价属
化学上自动化磨光(CMP)污废水
:含nm级硅粒子、有机会络合剂
机器刷洗废水处理方法
:含异丙醇、化学需氧量等设计物
工作艺注意事项
通过"电学沉积+混疑沉积+强度净化"三级分销解决程序:
4级操作
:添加氯化钙和氢氧化物钙,行成氟化钙沉淀自己,氟化物清除率达85%
下级外理
:含有PAC(缔合氯化铝)和PAM(高分子聚乙烯酰胺),弄掉悬浊液态造成的环境有害特性
三级分销加工处理
:利用多材质过滤网器和几丁质酶炭吸收,溢水氟化物溶液浓度稳定性在8mg/L以內
要点机收录:pH定时调理系统化、斜管积累池、板框压滤(生活污水脱水现象)。
终结视觉效果
好项目开机运行几年评估参数提示:
氟化物月均质量浓度:7.2mg/L(压低国家地区标准的)
COD清除率:92%
污泥处理含水量率:≤65%
年收售氟化钙副品牌约150吨,保持市场化凭借