该典型案例产自西北城市1家专业半导体技术加工机构,其主要生育集成型电路设计心片。在生育过程中 中,晶圆洗、蚀刻等工艺程序需便用许多电子无线级磷酸(饱和度≥85%),发生发生高有机废气浓度含磷废污水。机构本身外理场地设施不可符合日益增长要严格的排卸规范(TP≤0.5mg/L),急需用钱加剧升级改造。
生活污水组成成分及种类
废污水注意起出自六个部分:晶圆擦洗废污水(占总排水量60%)、机擦洗废污水(30%)相应地面磁砖擦洗废污水(10%)。水的质量体现形式体现为:pH值1.5-2.5,总磷盐浓度800-1200mg/L,氟亚铁离子分量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并有效少量血本属(铜、锌等)。
加工处理制作工艺步奏
创业项目利用"预解决+化学上的沉垫+高级的氧化物+的深度进行过滤"的结合工艺设计:
调节器池
:稳定水污染储水量,配有pH在线平台监测器控制系统
一层不良反应池
:污泥脱水生石灰乳可以调节pH至8.5-9.0,出现Ca3(PO4)2沉淀出的
中级反應池
:增加PAC和PAM提高斜板沉淀池成效
斜板沉垫池
:做到固液溶合,废水进去过滤程序
Fenton防氧化单位
:H2O2与Fe²⁺信息化反应分解有机肥料物
多材质水过滤器器
:石英砂砂+活力性炭搭配组合过滤清洁,为了确保出水量浑浊
阳离子交換体统
:进1步弄掉稳定度材料铝离子
最终能够成效
设备作业安稳后,有水出水质监测:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟铝离子≤5mg/L,相关统计指标远远高于《电子厂企业水的进行尾气排放物进行相关尾气排放标准规范》(GB 39731-2020)。每一年的减轻磷进行尾气排放约15吨,飞灰制造量较过去的工艺技术变低40%,作业投资成本有效控制在8.两元/吨水。