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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体器件存储芯片制造出厂在晶圆生产制造过程中 中,安全使用硅烷参与硅外加植物的生长,尾气排放洗洁塔带来高纯度含硅化工生活污水。化工生活污水极具pH下跌大(2-11)、硅纯度高的结构特征,传统艺术整理办法易现身硅垢空气能管道堵塞事情。 污废水 部分及由来 电镀废水核心材质为: 熔化分解性硅酸盐 :SiO₂含量达1000-1500mg/L 氢腐蚀钾/氢腐蚀钠 :洗洁塔酸碱平衡洗洁液存留 科粒硅 :奈米级SiO₂悬浊液 痕量砷 :原石溶物带去 外理艺步奏 转型升级采用了"两极结合+膜滤出+减压蒸馏晶粒"加工过程: 四级中合 :用CaO调pH至4-5,提取硅酸钙奠定,硅避开率60%。 下级与 :加Na₂CO₃将pH提高至9,更加一个脚印积淀余量硅,并接用镁剂除砷。 反渗透膜设备 :0.02μm瓷器膜油烟净化器奈米级硅顆粒,通量增强在80LMH。 MVR化掉器 :沉淀高盐废水处理,晶体出Na₂SO₄副设备,水循环率超90%。 决定疗效 总硅从1500mg/L调至5mg/L下类 砷硫含量从0.8mg/L降低0.01mg/L 系统软件无积垢正常运行超出2年 今年收回硝酸钠钠硫化锌约800吨

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