某半导体器件存储芯片制造出厂在晶圆生产制造过程中 中,安全使用硅烷参与硅外加植物的生长,尾气排放洗洁塔带来高纯度含硅化工生活污水。化工生活污水极具pH下跌大(2-11)、硅纯度高的结构特征,传统艺术整理办法易现身硅垢空气能管道堵塞事情。
污废水 部分及由来
电镀废水核心材质为:
熔化分解性硅酸盐
:SiO₂含量达1000-1500mg/L
氢腐蚀钾/氢腐蚀钠
:洗洁塔酸碱平衡洗洁液存留
科粒硅
:奈米级SiO₂悬浊液
痕量砷
:原石溶物带去
外理艺步奏
转型升级采用了"两极结合+膜滤出+减压蒸馏晶粒"加工过程:
四级中合
:用CaO调pH至4-5,提取硅酸钙奠定,硅避开率60%。
下级与
:加Na₂CO₃将pH提高至9,更加一个脚印积淀余量硅,并接用镁剂除砷。
反渗透膜设备
:0.02μm瓷器膜油烟净化器奈米级硅顆粒,通量增强在80LMH。
MVR化掉器
:沉淀高盐废水处理,晶体出Na₂SO₄副设备,水循环率超90%。
决定疗效
总硅从1500mg/L调至5mg/L下类
砷硫含量从0.8mg/L降低0.01mg/L
系统软件无积垢正常运行超出2年
今年收回硝酸钠钠硫化锌约800吨