某半导体材料生产品牌因晶圆擦洗步骤行成含氨废气,供水量200吨/天。废气中除化学需氧量外还有效氟化物和氢化物发生器高价属,处理难易度大。各地的排放基准规范要求化学需氧量<5mg/L,氟化物<3mg/L。
污水部分及来源于
晶圆的清洗废水处理(主耍从何而来):含挥发酚200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀制作工艺电镀废水:含进样器铜、镍等血本属,pH值起伏较大大
CMP研磨设备废渣:含硅颗粒剂及氧化还原电位
解决制作生产工艺步骤
选择"化学物质沉积+膜分割+折点氯化"组合式鑫霖环保:
预处里
:添加CaCl2除氟,有效控制pH在7.5-8.
反渗透膜软件系统
:快速清理0.01μm上面颗粒状物
反渗透膜法萃取
:将化学需氧量原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 至1000mg/L以上内容
折点氯化
:高精度操纵氯加药量,将氧化还原电位应用为氢气
阴离子交易
:担保巨资属及格
终究郊果
氧化还原电位不稳<3mg/L,氟化物<1mg/L
血本属含锌量底于测量限
水回收率达75%
工业废水存在量缩短40%