西安某半导集成ic制做厂，晶圆激光加工阶段中有含硅、氟的比较特殊废液，设计的整理大规模1200吨/日。废液化学物质复杂的，有效纳米技术级硅颗粒物及盐酸，中国传统整理的办法无从达到。 废液含量及来历 大部分危害物 ：橡胶胶体部分硅（100-500nm粒度）、氟铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 原因流程 ：晶圆刻蚀化工废渣（45%）、CMP化工物理磨光化工废渣（40%）、设备擦拭水（15%） 治理 新工艺步骤 特色化用于"化学反应沉淀出的+特种车膜转移"工艺交通路线： 钙盐沉垫 ：加药系统氯化钙清理氟正离子（转化CaF2石雕文化沉淀） 水解酸化池想法 ：塑料二沉池剂推动电解质溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm钻孔大小膜截流微细小粒 反渗透膜工作会更装置 ：脱盐率>98%，再利用率75% 挥发凝结 ：浓水段建立氟化物0排放口 结果英文功效 氟化物溶度：<8mg/L（超过中国三级准则10mg/L） 硅成分：<5mg/L 水环境资源造纸废水处理率：70%采用制冷塔补充水分 危险废物减药：蒸发器食物残渣量较傳統技艺减掉60%